全國人大代表、中國四聯(lián)儀器儀表集團有限公司董事長(cháng)向曉波在2020年全國兩會(huì )期間建議，大力發(fā)展我國自主半導體MEMS傳感器芯片核心技術(shù)與產(chǎn)業(yè)化。

向曉波說(shuō)，MEMS半導體傳感器已成為“卡脖子”器件，嚴重制約著(zhù)我國工業(yè)裝備安全自主可控發(fā)展。

根據國家創(chuàng )新驅動(dòng)發(fā)展戰略整體部署，結合其多年對MEMS半導體傳感器生產(chǎn)研發(fā)的實(shí)踐探索，向曉波對發(fā)展我國MEMS產(chǎn)業(yè)提出如下建議：

第一，做好產(chǎn)業(yè)發(fā)展的頂層設計。MEMS傳感器產(chǎn)業(yè)發(fā)展非常需要國家的宏觀(guān)規劃和指導，建議加強頂層設計，將MEMS傳感器產(chǎn)業(yè)作為一個(gè)單獨的產(chǎn)業(yè)加以研究，出臺有戰略規劃、有實(shí)現路徑、有推進(jìn)實(shí)施機構、有聯(lián)動(dòng)機制的行動(dòng)方案和發(fā)展路線(xiàn)圖，規劃優(yōu)先發(fā)展的重點(diǎn)方向，部署前瞻性研究，形成政府導向、市場(chǎng)驅動(dòng)的長(cháng)效工作機制。

第二，設立跨國及國家級研發(fā)項目。組織遴選一批符合實(shí)現路徑的重點(diǎn)項目，設立重大專(zhuān)項，從國家、行業(yè)、地方層面給予持續的資金和政策支持，對MEMS傳感器的自主設計、工藝、制造等方面加大扶持投入。通過(guò)產(chǎn)學(xué)研合作以及國際合作，提高我國MEMS技術(shù)研發(fā)與自主創(chuàng )新能力。

第三，為產(chǎn)業(yè)發(fā)展提供資金扶持，將MEMS列入“政策性”補助產(chǎn)業(yè)，出臺相關(guān)財稅補助優(yōu)惠政策，使從事MEMS研發(fā)制造的企業(yè)可向相關(guān)機構申請MEMS產(chǎn)業(yè)發(fā)展補助。同時(shí)，出臺相關(guān)支持政策，支持國內企業(yè)開(kāi)展MEMS傳感器領(lǐng)域的國際合作，包括技術(shù)引進(jìn)、公司購并、智力引進(jìn)等。在國家重點(diǎn)建設項目中，以政府采購、首臺套應用、產(chǎn)業(yè)鏈合作創(chuàng )新等政策，大力鼓勵、支持集成應用廠(chǎng)商購買(mǎi)使用國產(chǎn)MEMS傳感器及系統產(chǎn)品。借鑒集成電路產(chǎn)業(yè)投資基金的相關(guān)經(jīng)驗，引導各界社會(huì )資本，設立MEMS傳感器產(chǎn)業(yè)投資基金，鼓勵參與MEMS傳感器產(chǎn)業(yè)創(chuàng )新。

考慮到MEMS對產(chǎn)業(yè)鏈上下游的協(xié)同制造能力要求較高，向曉波還建議，推動(dòng)產(chǎn)業(yè)鏈協(xié)同創(chuàng )新，建立研發(fā)與終端消費產(chǎn)品一體化的協(xié)同發(fā)展體系，形成以技術(shù)開(kāi)拓市場(chǎng)、市場(chǎng)促進(jìn)技術(shù)能力提升的循環(huán)發(fā)展模式，建立公共服務(wù)信息平臺，建立產(chǎn)學(xué)研用聯(lián)合培養模式。