中國科學(xué)技術(shù)大學(xué)理化科學(xué)實(shí)驗中心內的兩款國儀量子掃描電鏡

近日，中國科學(xué)技術(shù)大學(xué)理化科學(xué)實(shí)驗中心新安裝了國儀量子自主研制的首臺超高分辨場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡SEM5000X。目前，該設備已完成前期調試，即將投入試運行。

PART.1 技術(shù)指標    

超高分辨場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡SEM5000X

SEM5000X是一款超高分辨率場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡，其分辨率達到了突破性的0.6 nm@15 kV和1.0 nm@1 kV。高分辨物鏡設計、高壓隧道技術(shù)（Super Tunnel）以及鏡筒工藝升級，實(shí)現了低電壓分辨率的進(jìn)一步提升。全新設計的樣品倉，擴展接口增加至16個(gè)，快速換樣倉最大支持8寸晶圓（最大直徑208 mm），極大擴展應用范圍。高級掃描模式和自動(dòng)功能增強，帶來(lái)了更強的性能和更好的體驗。

儀器特點(diǎn)

·超高分辨率成像，達到了突破性的0.6 nm@15 kV和1.0 nm@1 kV

·樣品臺減速和高壓隧道技術(shù)組合的雙減速技術(shù)，挑戰極限樣品拍攝場(chǎng)景

·高精度機械優(yōu)中心樣品臺、超穩定性的機架減震設計，可搭配整體罩殼設計，極大減弱環(huán)境對極限分辨率的影響

·最大支持8寸晶圓(最大直徑208 mm)的快速換樣倉，滿(mǎn)足半導體和科研應用需求

PART.2 應用案例