近日，在重慶力為康智能裝備有限公司檢測車(chē)間，北京理工大學(xué)重慶微電子研究院（以下簡(jiǎn)稱(chēng)“北理微電院”）彭喆博士正調試參數，光譜儀顯示屏上實(shí)時(shí)跳動(dòng)著(zhù)精準的檢測數據，經(jīng)過(guò)嚴格測試，北理微電院自主研發(fā)的FTS-DT-101型微型近紅外光譜儀各項性能指標均達到或超過(guò)預期，標志著(zhù)該產(chǎn)品順利完成批量生產(chǎn)并交付。

▲FTS-DT-101型微型近紅外光譜儀測試交付現場(chǎng)

FTS-DT-101型微型近紅外光譜儀由北理微電院彭喆博士牽頭組建專(zhuān)業(yè)研發(fā)團隊研發(fā)。該產(chǎn)品利用MEMS電熱微鏡技術(shù)，成功規避對電機的依賴(lài)，采用自主研發(fā)、生產(chǎn)的MEMS微鏡，打破國內光譜儀核心部件技術(shù)瓶頸，解決微鏡熱響應時(shí)間、調制精度、驅動(dòng)控制等系統問(wèn)題，填補了國內技術(shù)空白。

▲微型近紅外光譜儀產(chǎn)品

▲超大位移電熱MEMS微鏡

“我們先后突破MEMS微鏡熱響應控制、光學(xué)系統微型化、光電轉換電路噪聲抑制等多項關(guān)鍵技術(shù)瓶頸?！北崩砦㈦娫合嚓P(guān)負責人介紹，產(chǎn)品研發(fā)過(guò)程中，研發(fā)團隊完成10余輪設計迭代，測試數據超500組，僅用時(shí)7個(gè)月，成功實(shí)現了該產(chǎn)品從設計研發(fā)到量產(chǎn)交付，創(chuàng )造了“北理速度”。

▲北理微電院FTS-DT-101型微型近紅外光譜儀研發(fā)團隊

據了解，憑借其技術(shù)創(chuàng )新性，該產(chǎn)品已入選2024西部（重慶）科學(xué)城十大科技創(chuàng )新成果。產(chǎn)品的產(chǎn)業(yè)化應用，將有效提升我國在精密儀器制造領(lǐng)域的技術(shù)水平，為相關(guān)行業(yè)提供重要的技術(shù)支撐。