6月28日,蘇州博眾儀器科技有限公司(以下簡(jiǎn)稱(chēng)“博眾儀器”)發(fā)布國產(chǎn)首臺商用200千伏場(chǎng)發(fā)射透射電子顯微鏡BZ-F200。該顯微鏡的點(diǎn)分辨率達到0.25納米,晶格分辨率達到0.14納米,能夠直接分辨絕大多數材料的晶格結構。
透射電子顯微鏡是一種高分辨率的微觀(guān)分析儀器。顯微鏡中的電子束穿透樣品后,會(huì )攜帶樣品內部結構信息,這些信息經(jīng)過(guò)放大系統成像后,可放大百萬(wàn)倍,從而幫助使用者觀(guān)察原子級圖像。透射電子顯微鏡廣泛應用于納米級的研究與觀(guān)測,是材料科學(xué)、生命科學(xué)和半導體等領(lǐng)域研究所必需的高端儀器設備。
BZ-F200的研發(fā)歷時(shí)5年。博眾儀器技術(shù)總監梁晶博士介紹,此前,高端透射電鏡產(chǎn)業(yè)長(cháng)期被國外儀器公司壟斷,核心零部件受到國外技術(shù)封鎖,針對這項痛點(diǎn),博眾儀器陸續實(shí)現了熱場(chǎng)電子槍、超高穩定度電源、熱場(chǎng)電子源、精密加工鏡筒、納米級測角臺等核心零部件的自主生產(chǎn),并在用戶(hù)先期試用中得到驗證。
梁晶介紹,該顯微鏡主要聚焦材料研發(fā)以及前沿科學(xué)領(lǐng)域,適用于晶格尺度的結構解析、缺陷分析、界面表征以及成分分析等研究。
“經(jīng)過(guò)5年的技術(shù)攻關(guān)與反復錘煉,我們已將BZ-F200從整機到每一個(gè)關(guān)鍵零部件的全鏈條核心技術(shù)牢牢掌握在自己手中。”博眾儀器總經(jīng)理唐愛(ài)權表示。