2025年7月17日，“質(zhì)析毫微・譜繪萬(wàn)象”半導體痕量成分檢測技術(shù)交流會(huì )在中國科學(xué)院上海應用物理研究所學(xué)術(shù)交流中心隆重舉行。本次會(huì )議由中國物理學(xué)會(huì )質(zhì)譜分會(huì )、北京雪迪龍科技股份有限公司聯(lián)合主辦，中國科學(xué)院上海應用物理研究所、分析測試百科網(wǎng)、中國儀器儀表學(xué)會(huì )分析儀器分會(huì )質(zhì)譜儀器專(zhuān)家組協(xié)辦，共同聚焦半導體檢測技術(shù)的前沿動(dòng)態(tài)與國產(chǎn)化發(fā)展之路。
開(kāi)幕致辭
中國物理學(xué)會(huì )質(zhì)譜分會(huì )理事長(cháng)方向在致辭中強調，質(zhì)譜技術(shù)在我國材料、半導體以及生命科學(xué)等諸多領(lǐng)域都具有極為重要的意義，而近年來(lái)質(zhì)譜技術(shù)的國產(chǎn)化替代和突破已成為各界關(guān)注的焦點(diǎn)。方向提到，我國在推動(dòng)質(zhì)譜技術(shù)國產(chǎn)化方面已取得重要進(jìn)展，得到了國家的大力支持，眾多企業(yè)家懷著(zhù)責任感和使命感，抓住市場(chǎng)機遇，推動(dòng)國產(chǎn)質(zhì)譜技術(shù)的發(fā)展。
北京雪迪龍科技股份有限公司董事長(cháng)敖小強表示，此次研討會(huì )對于雪迪龍而言意義非凡，尤其是與中國科學(xué)院上海應用物理研究所共同成立飛行時(shí)間二次離子質(zhì)譜上海應用中心，這不僅是雪迪龍與科研院所的一次重要合作，也是推動(dòng)國產(chǎn)科學(xué)儀器發(fā)展的重要一步。雪迪龍作為行業(yè)領(lǐng)軍企業(yè)，致力于推動(dòng)國產(chǎn)儀器的研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化，助力半導體檢測技術(shù)的自主可控。他希望通過(guò)此次研討會(huì )，與各位專(zhuān)家共同探討如何推動(dòng)高端科學(xué)儀器發(fā)展，特別是在半導體相關(guān)設備領(lǐng)域。
揭牌儀式
在開(kāi)幕致辭之后，舉行了一場(chǎng)意義非凡的揭牌儀式。北京雪迪龍科技股份有限公司與中國科學(xué)院上海應用物理研究所攜手共建“飛行時(shí)間二次離子質(zhì)譜上海應用中心”。這一合作標志著(zhù)產(chǎn)學(xué)研深度融合邁出了堅實(shí)一步，雙方將共同致力于質(zhì)譜技術(shù)的研發(fā)與應用，標志著(zhù)雪迪龍的飛行時(shí)間二次離子質(zhì)譜（TOF-SIMS）的國產(chǎn)化進(jìn)程正式啟動(dòng)。
主題報告
雪迪龍副總工程師張倩暄帶來(lái)了題為“基于CRDS等技術(shù)的半導體解決方案”的報告。針對半導體生產(chǎn)工藝中遇到痕量成分檢測的難題，雪迪龍推出了基于光腔衰蕩光譜（CRDS）的痕量氣體分析儀、以及用于晶圓表面污染檢測的飛行時(shí)間二次離子質(zhì)譜儀（TOF-SIMS）等，滿(mǎn)足半導體行業(yè)對痕量雜質(zhì)檢測的高靈敏度和高精度要求。
雪迪龍子公司英國KORE公司總經(jīng)理Stephen James Mullock博士在“TOF-SIMS-An Essential Technique for a Modern Surface Science Laboratory”報告中，介紹了TOF-SIMS在半導體行業(yè)、涂層技術(shù)和各類(lèi)材料粘附相關(guān)領(lǐng)域表面分析中的重要性，以及在分子信息獲取和高空間分辨率方面的優(yōu)勢，并分享了KORE公司在TOF-SIMS儀器設計上的創(chuàng )新。
雪迪龍子公司英國KORE公司技術(shù)專(zhuān)家Douglas Fraser Reich在“The Applications of TOF-SIMS in Materials Science”報告中，介紹了TOF-SIMS在表面化學(xué)、粘附性、多層薄膜、藥物傳遞以及半導體中低水平元素的分布和同位素標記等領(lǐng)域的應用，并通過(guò)實(shí)際案例展示了TOF-SIMS在工業(yè)問(wèn)題解決中的強大能力。
半導體檢測技術(shù)的自主可控是我國半導體產(chǎn)業(yè)發(fā)展的關(guān)鍵，通過(guò)加強產(chǎn)學(xué)研合作、推動(dòng)技術(shù)創(chuàng )新和人才培養，我國有望在高端科學(xué)儀器領(lǐng)域實(shí)現突破，為半導體產(chǎn)業(yè)的高質(zhì)量發(fā)展提供有力支撐。
半導體痕量成分檢測技術(shù)交流會(huì )的成功舉辦，為我國半導體檢測技術(shù)的自立自強注入了新的活力。雪迪龍期待與各科研單位、專(zhuān)家合作，成為各方開(kāi)展質(zhì)譜技術(shù)研究的共享平臺。
